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智恒协办第三届“微言大义”MEMS研讨会


2013年10月12日 閲读次数: 3432

 
时间:2012年10月27日(星期六) 14:00-18:00
主办方:中国微纳技术俱乐部、IC咖啡、苏州麦姆斯信息咨询有限公司
协办方:苏州明皜传感科技有限公司、苏州敏芯微电子技术有限公司、上海矽睿科技有限公司、东方微磁科技有限责任公司、ACAM(德国)、江苏国石半导体有限公司、纳讯微电子(上海)有限公司、浙江大立科技股份有限公司、Si-Ware Systems(埃及/美国)、新思科技(Synopsys)、智恒(厦门)微电子有限公司

首席赞助商: MEMS Journal

全球合作伙伴: Yole Waferplus   Coventor

 
活动背景

    基于MEMS技术的传感器实现IC兼容工艺后,可以将传感器敏感芯片与相应的接口电路集成在同一个硅片上,降低制造成本,重复性与一致性好,具有高的灵敏度和分辨率,拥有广泛的应用前景。
    MEMS电容式传感器因其体积小、重量轻、功耗低、与集成电路工艺兼容、高灵敏度和低温度系数等优点成为MEMS传感器研究和应用的热点,但因其检测电路的复杂性,使得检测ASIC的研究也很必要。传感器总噪声包括传感器本身的机械噪声和处理电路的噪声,研究表明一般情况下机械噪声要远远小于电路的噪声,所以说设计出低噪声的检测电路,有利于提高整个传感器的检测精度。
    随着MEMS工艺的逐渐提高,传感电容越来越小,外界物理量引起的传感电容的变化更是微小(一般为pF量级,甚至为fF、aF),这样检测电路就变的相对复杂。传感器的检测精度很大部分被检测电路所限制。
    本次活动旨在加强MEMSer与ASICer交流互动,促进国内MEMS传感器产业化进程。

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